אינטל ו-ASML דיווחו היום כי יותר ממיליון פרוסות סיליקון כבר עובדו באמצעות טכנולוגיית High NA EUV, כולל פרוסות ששימשו למחקר ופיתוח, להסמכת הציוד ולייצור סדרתי של שכבות נבחרות בחלק ממעבדי Intel Core Ultra Series 3, הידועים בשם Panther Lake.